通過電磁場或電場的作用，吸氣離子泵被電離的氣體會吸附在有吸氣材料的泵內(nèi)表面上，真空就會由此形成了，吸氣離子泵分為濺射離子泵和蒸發(fā)離子泵這兩種，下面就問大家具體的介紹一些吸氣離子泵的這兩種類型。
濺射離子泵使用起來比較簡單、而且維護起來也比較的簡單，且費用較低，此外，濺射離子泵還具有可靠、無熱、無噪聲、無水、耗電少等優(yōu)點；但是，其對惰性氣體和大分子量的有機蒸汽抽速較低，對污染很敏感；此外，濺射離子泵設(shè)有磁鐵，所以其重量和體積都比較大，從而就造成了單位抽速成本高的弊端。
蒸發(fā)離子泵的泵內(nèi)被電離的氣體傳輸?shù)揭蚤g斷或連續(xù)方式升華或蒸發(fā)而復(fù)在泵內(nèi)壁的吸氣材料上而被吸附，對于氫、氮、氬和氦，蒸發(fā)離子泵都會出現(xiàn)不同的抽速。