吸氣離子泵的工作原理：被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的泵內(nèi)表面上，從而形成真空。吸氣離子泵有濺射離子泵、蒸發(fā)離子泵兩種。
濺射離子泵優(yōu)點(diǎn)是：使用簡單、可靠、無熱、無噪聲、無水、耗電少、維護(hù)費(fèi)低等優(yōu)點(diǎn)。缺點(diǎn)是：對(duì)惰性氣體和大分子量的有機(jī)蒸汽抽速較低，陰極對(duì)污染很敏感，由于有笨重的磁鐵，重量大，體積大，單位抽速成本高。（該泵的極限真空度為1．33×10-9Pa）
蒸發(fā)離子泵泵內(nèi)被電離的氣體傳輸?shù)揭蚤g斷或連續(xù)方式升華或蒸發(fā)而復(fù)在泵內(nèi)壁的吸氣材料上而被吸附。該泵對(duì)氫、氮、氬和氦都有不同的抽速。該泵啟動(dòng)壓力為1．33×lO-1Pa，工作壓力范圍為1．33×10-1～1．33×10-8Pa。